Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

— —

Ulrich Hilleringmann

Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Ulrich Hilleringmann

$96.95 $82.36

Paperback

Not in-store but you can order this
How long will it take?

Availability Information

We source books from suppliers in Australia and overseas. For books we don't currently have in stock, the time it takes to get them from our suppliers can vary widely - from a few days to a few months - so we check each book with each supplier to determine the expected time it will take to be supplied to us.

We then advise you accordingly. If the time taken to get any book is too long for you, you can let us know and we will cancel or adjust your order, and refund as required.

To find out the anticipated arrival time for specific items prior to ordering, please contact us by phone or email:

Phone +61 2 9264 3111, or 1800 4 BOOKS (1800 4 26657) if outside Sydney:
option 1 Abbey's Bookshop (Crime, History, Science, Kids & more) • info@abbeys.com.au
option 2 Language Book Centre (ESL & Foreign Languages) • language@abbeys.com.au
option 3 Galaxy Bookshop (Sci-fi, Fantasy, Romance, Graphic Novels) • sf@galaxybooks.com.au

QTY:

English

Springer Vieweg
27 October 2023

Electronics engineering; Circuits & components; Semi-conductors & super-conductors

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

By: Ulrich Hilleringmann
Imprint: Springer Vieweg
Country of Publication: Germany
Edition: 8. Aufl. 2023
Dimensions: Height: 240mm, Width: 168mm,
Weight: 551g
ISBN: 9783658423773
ISBN 10: 3658423773
Pages: 309
Publication Date: 27 October 2023
Audience: Professional and scholarly , Undergraduate
Format: Paperback
Publisher's Status: Active

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.